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FLY-MX12顯微鏡光學(xué)技術(shù)在亮度 、對(duì)比度和可操作性方面達(dá)到z新高度， 適合晶圓或者顯示面板的高級(jí)檢查
FLY-MX12(落射照明型)
z大樣品尺寸： ?300mm晶片
載物臺(tái)行程：350 × 300mm
放大倍率：50X - 1000X
(依目鏡和物鏡而定)
高對(duì)比度，幾乎無(wú)雜光
為z大程度地減少雜光現(xiàn)象,物鏡涂有特殊涂層,其表面具有抗雜散光的性能。另外,目鏡筒內(nèi)部的反射次數(shù) 也減少了,進(jìn)一步減小了出現(xiàn)雜光的可能性，同時(shí)獲得了前所未有的高對(duì)比度。
半復(fù)消色差物鏡
富萊半復(fù)消色差物鏡實(shí)現(xiàn)了自然色彩高度再現(xiàn)，高透過(guò)率鏡片和先進(jìn)的鍍膜技術(shù)保證獲得高清晰圖像
半復(fù)消色差物鏡
富萊半復(fù)消色差物鏡實(shí)現(xiàn)了自然色彩高度再現(xiàn)，高透過(guò)率鏡片和先進(jìn)的鍍膜技術(shù)保證獲得高清晰圖像
調(diào)節(jié)手輪集中在機(jī)身前部
主要調(diào)節(jié)手輪和按鈕均位于底座前部， 在觀察樣品的同時(shí)可進(jìn)行快速、 方便的操作，長(zhǎng)時(shí)間觀察能z大程度地減輕疲勞。
防靜電能力更強(qiáng)
機(jī)身、載物臺(tái)、目鏡筒和各調(diào)節(jié)手輪均涂有消靜電涂層，提高了抗污染能力，防止樣品因靜電感應(yīng)而受損，從而提高成品率。
諾瑪斯基DIC觀察法（選配）
采用單棱鏡(Senarmont)系統(tǒng)，只 需在物鏡轉(zhuǎn)換器插入一個(gè)諾瑪斯基棱鏡， 即可以 任一倍率進(jìn)行DIC觀察。即使進(jìn)行低倍率觀察， DIC圖像也同樣清晰而鮮明， 幾乎沒(méi)有色陰影。 高對(duì)比度型DIC滑塊能以更高的靈敏度形成DIC 圖像。
X-Y微調(diào)操作手輪
X-Y微調(diào)操作手輪的固定位置*， 位于接近操作員之處， 這一特 性使操作員不必伸長(zhǎng)手臂移動(dòng)載物臺(tái)。樣品移動(dòng)和對(duì)焦可由單 手在桌面上的完成，使操作員得以將注意力集中在樣品觀察上。
明場(chǎng)觀察
無(wú)限遠(yuǎn)光學(xué)技術(shù)產(chǎn)生高亮度、高對(duì)比度的圖像。
暗場(chǎng)觀察
新開發(fā)的暗場(chǎng)照明光學(xué)技術(shù)極大地提高了圖像亮 度，增強(qiáng)了檢測(cè)樣品的微小劃痕和形態(tài)的能力。
配置 | |
光學(xué)系統(tǒng) | 無(wú)限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng) |
光學(xué)放大倍數(shù) | 50倍-1000倍 |
落射照明器 | 進(jìn)口明暗場(chǎng)反射照明器，帶可變孔徑光闌，視場(chǎng)光闌，中心可調(diào) |
三目頭 | 無(wú)限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒，瞳距調(diào)節(jié)：50mm~76mm，兩檔分光比雙目:三目=100：0 |
目鏡 | 高眼點(diǎn)大視野目鏡SWH10X-H/23mm，視度可調(diào) |
物鏡 | 5倍明暗場(chǎng)半復(fù)消色差物鏡 NA：0.15 WD：15mm |
10倍明暗場(chǎng)半復(fù)消色差物鏡 NA：0.3 WD：8.4mm | |
20倍明暗場(chǎng)半復(fù)消色差物鏡 NA：0.40 WD：11.9mm | |
50倍明暗場(chǎng)半復(fù)消色差物鏡 NA：0.75 WD：3mm | |
100倍明暗場(chǎng)半復(fù)消色差物鏡 NA：0.9 WD：1mm | |
調(diào)焦機(jī)構(gòu) | 低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程32mm,微調(diào)精度0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置。內(nèi)置100-240V寬電壓系統(tǒng)。 |
載物臺(tái) | 14*12英寸載物臺(tái)，X、Y方向同軸調(diào)節(jié)；含快速移動(dòng)裝置 有效移動(dòng)行程：356X305mm 透射光照明區(qū)域：356X284mm |
機(jī)架 | 反射型機(jī)架，選配透射光源 |
燈箱 | LED長(zhǎng)壽命光源 |
相機(jī) | 富萊630萬(wàn)彩色相機(jī) |
軟件 | 富萊顯微圖像軟件 |
選配 | 長(zhǎng)工作距離物鏡、偏光、微分干涉、紅外功能等功能 |
外觀尺寸/重量 | 640*701*650mm(長(zhǎng)*寬*高) / 約65KG |
400-828-6080
