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NEXIV VMZ-H系列
NEXIX VMZ-H3030達到NEXIV系列中的zui高精度，兼具高度的易用性和高性能。
VMZ-H3030以高精度為核心
VMZ-H3030提供300mm x 300mm x 150mm（X，Y，Z）機型，以及一系列高質(zhì)量的光學(xué)器件，標(biāo)配有TTL（通過鏡頭的）掃描激光器。該系統(tǒng)設(shè)計用于提供極高精度測量。
NEXIV系列的zui高精度
由于其du家的設(shè)計和結(jié)構(gòu)，VMZ-H達到了NEXIV系列中的zui高精度。
產(chǎn)品亮點
5種光學(xué)變焦系統(tǒng)
有5種類型可供選擇，以滿足不同的視場和分辨率要求。
快速高度測量
高精度、快速高度測量通過高精度透鏡激光自動對焦實現(xiàn)，能夠以每秒1000點的速度進行快速掃描。
測量困難樣本的能力
利用尼康du家的照明配件，可以輕松測量難測的邊緣和特征。
不間斷自動測量
即使部件定位發(fā)生變化，也可以實現(xiàn)jing確測量。
核心功能
尺寸
| XYZ 量程 | 300x300x150 mm |
| 最小讀數(shù) | 0.01 μm |
| 最大載重量 | 30 kg (精度保證: 10 kg) |
| 最大允許誤差 (20 kg以下) | EUX,MPE EUY,MPE: 0.6+2L /1000 μm EUXY,MPE: 0.9+3L /1000 μm EUZ,MPE: 0.9+L /150 μm |
| 精度保證溫度 | 20 °C ± 0.5 K |
| 最大驅(qū)動速度 XY, Z | 100 mm/s , 50 mm/s |
| 最小驅(qū)動速度 XY, Z | 0.01 mm/s , 0.001 mm/s |
| 相機 | VGA 1/3“ 黑白, 彩色, XGA 1/3“ 黑白, 彩色 *彩色相機為選配，僅適用于 Type 1, 2 和 3. |
| 工作距離 | Type 1, 2, 3: 50 mm (使用75度外環(huán)光時僅10 mm) / Type 4: 30 mm Type TZ: 31 mm (低倍物鏡), 11 mm (高倍物鏡) |
| 自動對焦 | 影像, 激光 |
| 電源 | AC 100 - 240 V ± 10% 50/60 Hz |
| 功耗 | 5A - 2.5 A |
| 外型尺寸 (WxDxH) 和 重量 | 主機帶底座: 1000 x 1125 x 1750 mm / 約 500 kg 控制箱: 190 x 450 x 440 mm / 約 15 kg |
| 占地大小 (WxD) | 3000×2800 mm |
| 光源 | |
| Type 1, 2, 3 和 4 | 全白色LED反射, 透射, 3層8方向環(huán)光/Type 4 僅1層 |
| Type TZ | 反射, 透射, 暗場 |
| 電源 | AC 100 - 240 V ± 10% 50/60 Hz |
| 功耗 | 5 A - 2.5 A |
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