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樣品:晶圓
檢測(cè)要求:內(nèi)部雜質(zhì)
方案:因?yàn)殡s質(zhì)在晶圓內(nèi)部,無法通過可見光在表面識(shí)別,需通過紅外透過晶圓成像檢測(cè)
設(shè)備圖片:
效果圖片:
金相顯微鏡 LV150N
倒置金相顯微鏡 MA200
正置金相顯微鏡 BX53M
金相顯微鏡FLY-MJ3M
紅外顯微鏡 BX53
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